Установка магнетронного напыления ЭТНА-М

Малогабаритная установка магнетронного напыления ETNA-M

Установка магнетронного напыления ETNA-M предназначена для осаждения металлических  слоев. Реактор выполнен из нержавеющей стали с верхним фланцем, несущим на себе функцию нагрева образцов. На нижнем фланце располагается водоохлаждаемый магнетрон с питанием постоянным током. Ориентирована на лабораторное исследовательское и образовательное применение, а также мелкосерийное производство.

Технические параметры:

поштучная обработка образцов диаметром до 100 мм;расположение – лицом вниз;максимальная температура нагрева – 350 ºС;диаметр используемых мишеней – 76 мм;мощность источника постоянного тока 1100 Вт;напряжение максимальное – 1000 В;откачка на базе сухого спирального и турбомолекулярного насосов;количество газовых каналов – один с  максимальным расходом 20 см3/мин;способ регулирования - электронный регулятор;предельный вакуум – 10-6  торр;управление –  автоматическое от ПК или ручное;контроль давления – с использованием химически стойкого  мембранного датчика, блокировки на открытие клапанов; рабочее давление в реакторе – порядка  0.5 Па, определяется потоком газа через магнетрон;инфраструктурные требования – сжатый воздух;питание  - 220 В, не более 3 кВт;масса не более 350 кг;

    Дополнительные возможности по требованию заказчика

ионный источник с замкнутым дрейфом электронов, устанавливаемый вместо магнетрона;питание ионного источника – постоянным током от дополнительного контроллера;