Компактная высоковакуумная насосная система, позволяющая создавать вакуум в диапазоне от атмосферного давления до вакуума высокого уровня. Все компоненты отлично настроены для оптимальной работы и вакуума. Гибридные подшипники с керамическими шариками смазаны сухим, твердым веществом, которое предотвращает загрязнение вакуума маслом или смазкой. Специальная конструкция насосов обеспечивает удаление остаточного водородного спектра.
CD-турбомолекулярные системы состоят из:
турбомолекулярного насоса SST с форвакуумным насосом,мембранного насоса или линейного поршневого насоса с предельным давлением 5 мбар,мини бустера с предельным давлением < 1 мбар,выпускного клапана,источника питания для насосов и мини бустера,вентилятора для насосовисточника питания, питающей сети 230 В, 50-60 Гц.
Форвакуумная насосная установка производит начальный вакуум ? 1 мбар для турбомолекулярного насоса, который затем создает вакуум в устройстве, подключенном к его всасывающему отверстию. Электромагнитный клапан, установленный между форвакуумной установкой и турбомолекулярным насосом, предотвращает обратную вентиляцию турбомолекулярного насоса при отключении форвакуумного.
В зависимости от скорости откачки турбомолекулярного насоса, форвакуумная насосная установка включает в себя комбинацию из мембранных, поршневых и пластинчато-роторных насосов.
Все CD-турбомолекулярные системы обеспечены автоматическим отключением форвакуумной системы. Форвакуумный насос и мини бустер отключатся, когда достигается предельное давление. Одновременно электромагнитный клапан, стоящий между форвакуумной системой и турбомолекулярным насосом, закрывается.
Работающие без смазки CD турбомолекулярные системы эффективно применяются для создания низкого безуглеводородного вакуума в различных областях, например:
Безуглеродистое вакуумирование небольших объемов Отлично подходит для создания высокого вакуума в электролампах, всех типах ЭЛТ, вакуумных прерывателях и т.п. В электронной микроскопии В качестве вакуумного шлюза В тонкослойной технике.
Seff N2 / He / H2 45/28/20л/сек
Kmax N2 / He / H2 5x107/7x103 без продувки/1.5x103
Предельное давление 1x10-7 мбар
Фланец DN 40 KF
Время пуска 50 сек
Размер 170/310/345 мм
Вес 12 кг
